1.定位精度高 ： 使用線性滑軌作為線性導引時，由于線性滑軌的摩擦方式為滾動摩擦，不僅摩擦系數降低至滑動導引的1/50，動摩擦力于凈摩擦力的差距亦變的很小。因此當床臺運行時，不會有打滑的現象發生，可達到um級的定位精度。                     2.磨耗少能長時間維持精度：傳統的滑動引導，無可避免的會因油膜逆流作用造成平臺運動精度不良，且因運動時間滑動不充分，導致運行軌道接觸面的磨損，嚴重影響精度，而滾動引導的磨損則非常少。故臺機能長時間的維持精度。

3.使用高速運動且大幅度降低機臺所需驅動馬力： 由于線性滑軌移動時摩擦力非常小，只需較小動力便能讓床臺移動，尤其是在床臺的工作方式為經常性往返運行時，更能明顯降低機臺電力損耗量。且因其摩擦產生的熱較小，可適用于高速運行。